[发明专利]一种扫描电子显微镜中原位高温微观力学测试装置

摘要

本发明公开了一种扫描电子显微镜中原位高温微观力学测试装置，包括控制系统、拉伸测试装置、加热装置及固定装置，拉伸测试装置设置有一容置空间，加热装置设置于容置空间内，拉伸测试装置与加热装置的底端均与固定装置连接，固定装置的底端与扫描电镜的样品支撑架固定连接；拉伸测试装置、加热装置及固定装置均设置在扫描电子显微镜的腔室内，扫描电子显微镜、拉伸测试装置及加热装置均与控制系统电连接。本发明中测试装置结构紧凑，可方便安装在显微镜中，加热装置的设置使测试能够在高温载荷条件下进行，方便实现扫描电子束对高温载荷和应力载荷作用下测试样品原位成像动态观察，同时获取同一观察微区域中样品的成分信息谱及晶体结构信息图。

主权项

一种扫描电子显微镜中原位高温微观力学测试装置，其特征在于：包括设置于扫描电子显微镜腔室外的控制系统和腔室内的拉伸测试装置、加热装置及固定装置，所述拉伸测试装置设置有一容置空间，所述加热装置设置于所述容置空间内，所述拉伸测试装置与所述加热装置的底端均与所述固定装置连接，所述固定装置的底端用于与扫描电子显微镜的样品支撑架相固定连接；所述扫描电子显微镜、所述拉伸测试装置及所述加热装置均与所述控制系统电连接。