[发明专利]用于等离子体处理装置的阻抗匹配的方法

摘要

本发明根据高频电源的负载侧的阻抗的变动适当且高速地调整高频电力的频率。在一实施方式的方法中，由等离子体处理装置的高频电源开始与第一期间中的功率相比，与该第一期间交替反复的第二期间中的功率设定得小的调制高频电力的输出。接着，取得过去的第一期间内的第一副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值和过去的第一期间内的第二副期间的高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值。接着，第一副期间的调制高频电力的频率和第二副期间的调制高频电力的频率根据移动平均值被设定。

主权项

1.一种用于等离子体处理装置的阻抗匹配的方法，其特征在于：所述等离子体处理装置包括：处理容器；第一电极和第二电极，设置成在它们之间隔着所述处理容器内的空间；输出等离子体生成用的高频电力的第一高频电源；输出离子引入用的高频电力的第二高频电源；连接所述第一电极或者所述第二电极与所述第一高频电源的第一供电线路；连接所述第二电极与所述第二高频电源的第二供电线路；用于调整所述第一高频电源的负载侧的阻抗的第一匹配器；和用于调整所述第二高频电源的负载侧的阻抗的第二匹配器；该用于等离子体处理装置的阻抗匹配的方法包括：从所述第一高频电源和所述第二高频电源中的一个高频电源开始输出调制高频电力的步骤，该调制高频电力中，与第一期间中的功率相比，与该第一期间交替反复的第二期间中的功率设定得较小；所述第一匹配器和所述第二匹配器中的与所述一个高频电源对应的一个匹配器调整所述一个匹配器的可变电抗元件的电抗，使得所述一个高频电源的负载侧的阻抗接近匹配点的步骤；和用于所述一个高频电源的电源控制部取得第一移动平均值和第二移动平均值的步骤，该第一移动平均值是调整所述一个匹配器的可变电抗元件的电抗的所述步骤之后，在所述第一期间各自的从开始时刻至中途之间设定的第一副期间中的、所述一个高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值，所述第二移动平均值是调整所述一个匹配器的可变电抗元件的电抗的所述步骤之后，在所述第一期间各自的从所述中途至结束时刻之间设定的第二副期间中的、所述一个高频电源的负载侧的阻抗的移动平均值；和在用于所述一个高频电源的所述电源控制部取得所述第一移动平均值和所述第二移动平均值后，在所述第一副期间和所述第二副期间的各个中设定所述一个高频电源所输出的调制高频电力的频率，使得根据所述第一移动平均值推测的所述第一副期间的所述一个高频电源的负载侧的阻抗和根据所述第二移动平均值推测的所述第二副期间的所述一个高频电源的负载侧的阻抗接近匹配点的步骤。