[发明专利]基板拉伸装置、成膜装置以及膜和有机电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201610874058.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106967957B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 铃木健太郎;佐藤智之;盐入信朗 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供基板拉伸装置、成膜装置以及膜和有机电子器件的制造方法，能够发挥与基板的松弛情况相对应的基板拉伸力，难以产生基板的松弛，能够使掩膜和基板良好重合，实现高精度的成膜。一种基板拉伸装置，其具备互相对置的一对夹紧机构，其中，所述夹紧机构具备多个从上下夹住基板的把持部，对应于每个所述把持部分别具备驱动构件，所述驱动构件将用于把持所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力传递至所述把持部。 | ||
| 搜索关键词： | 拉伸 装置 以及 有机 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基板拉伸装置，其具备互相对置的一对夹紧机构，其特征在于，所述夹紧机构具备多个从上下夹住基板的把持部，并且对应于每个所述把持部分别具备驱动构件，所述驱动构件将用于把持所述基板的按压力和用于将所述基板向外侧拉伸的拉伸力传递至所述把持部。
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