[发明专利]一种复杂三维结构组件的非气密包封方法有效
申请号: | 201610874478.6 | 申请日: | 2016-09-30 |
公开(公告)号: | CN106409695B | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
发明(设计)人: | 张丁 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开了一种复杂三维结构组件的非气密包封方法,包括以下步骤:先对灌封料液进行预处理;然后将灌封料液加入真空腔室内,调节真空腔室内的真空压力,进行灌封准备;再控制真空腔室内灌封料液的流动方向对工件进行灌封;最后待灌封料液固化后形成致密灌封体。本发明通过采用真空除气、真空离心脱泡、降低真空度灌封、控制灌封料液流动方向以及注胶口液面下灌封的组合控制方式,能够实现比通常采用的灌封工艺更好的气泡率控制效果,特别适合复杂三维结构组件的致密包封要求,能够大幅降低产品内部气泡率,有效提高产品的封装成品率,为基于灌封工艺进行复杂三维结构组件包封的产品提供了一个综合工艺平台,具有广阔的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 复杂 三维 结构 组件 气密 方法 | ||
【主权项】:
1.一种复杂三维结构组件的非气密包封方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:对灌封料液进行预处理,对所述灌封料液进行预加热,加热温度为70℃~100℃,加热时间小于10min,便于后续脱泡;S2:将灌封料液加入真空腔室内,真空除气进行灌封准备,通过真空除气对所述灌封料液内部的气体进行快速抽真空抽走一部分,剩余部分在相对真空度‑95Kpa~‑100Kpa下转化为气泡,然后通过对灌封料液进行真空离心脱泡处理,使气泡上浮至灌封料液表面并破裂排出,最后的少量气泡将随表面灌封料液一起被舍弃;S3:控制真空腔室内灌封料液的流动方向对工件进行灌封,所述真空腔室内灌封真空度低于脱泡真空度;S4:待灌封料液固化后形成致密灌封体。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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