[发明专利]一种基于自适应拟合的波前传感器

摘要

本发明提供了一种基于自适应拟合的波前传感器，包括波前传感器、波前拟合器和波前复原器；所述波前传感器，用于接收被测波前，对被测波前进行分割汇聚处理，得到光斑阵列；所述波前拟合器，用于对光斑阵列进行复原处理，得到复原波前，并对复原波前进行空间迭代拟合处理，得到趋于稳定值的复原波前补偿量；所述波前复原器，用于对趋于稳定值后的复原波前补偿量进行复原处理，得到高精度的复原波前，由于上述波前传感器在波前拟合器的作用下循环测量的是补偿拟合后的误差量，而随着循环次数的增加，误差量起伏减小，其测量精度增高，从而实现了对复原波前的高精度测量。

主权项

1.一种基于自适应拟合的波前传感装置，其特征在于：包括波前传感器、波前拟合器和波前复原器；其中：所述波前传感器，用于接收被测波前，对所述被测波前进行分割汇聚处理，得到光斑阵列；所述波前拟合器，用于对所述光斑阵列进行复原处理，得到复原波前，并对所述复原波前进行空间迭代拟合处理，得到趋于稳定值的复原波前补偿量；所述波前复原器，用于对趋于稳定值的复原波前补偿量进行复原处理，得到高精度的复原波前；波前拟合器对复原波前进行空间迭代拟合处理，得到趋于稳定值的复原波前补偿量，包括：所述波前拟合器在复原所述光斑阵列得到复原波前后，对所述复原波前进行第一次拟合处理，得到所述复原波前对应的第一补偿量，根据所述第一补偿量计算误差波前，将所述误差波前发送至所述波前传感器进行分割汇聚处理，再次接收所述波前传感器发送的误差波前的误差光斑阵列，并进行复原处理，得到第二补偿量，将所述第二补偿量与所述第一补偿量进行叠加处理，得到复原波前补偿量；重复根据所述第二补偿量计算误差波前，并将所述误差波前发送至所述波前传感器进行分割汇聚处理，以及接收误差波前的误差光斑阵列并进行复原和叠加处理的过程，直至叠加得到的所述复原波前补偿量趋于稳定值时，得到所述复原波前补偿量。