[发明专利]一种应用阳极氧化刻蚀制备钙钛矿太阳能电池介孔层的方法在审
| 申请号： | 201610875612.4 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106449981A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 金平实;黄爱彬;雷磊;周奕杰;包山虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L51/42 | 分类号： | H01L51/42;H01L51/48;C23C14/35;C25D11/26 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)31261 | 代理人： | 郑优丽;熊子君 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用阳极氧化刻蚀制备钙钛矿太阳能电池介孔层的方法，包括：采用直流磁控溅射法在基底表面沉积纯金属钛薄膜；将纯金属钛薄膜置于电解液中，在5～25V下阳极氧化处理5～60 分钟，或者先在10～15V下阳极氧化处理20～60 分钟后，再于大于15V且≤25V下阳极氧化处理20～60 分钟；将阳极氧化处理后的薄膜在100‑500℃下热处理1～5小时，得到二氧化钛介孔层。本发明采用直流磁控溅射物理气相沉积法和阳极氧化处理技术相结合的方式在低温（室温）下制备不同厚度和不同形貌的钙钛矿太阳能电池用二氧化钛介孔层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 阳极 氧化 刻蚀 制备 钙钛矿 太阳能电池 介孔层 方法 | ||
【主权项】：
一种阳极氧化刻蚀制备钙钛矿太阳能电池用二氧化钛介孔层的方法，其特征在于，包括：采用直流磁控溅射法在基底表面沉积纯金属钛薄膜；将纯金属钛薄膜置于电解液中，在5～25V下阳极氧化处理5～60 分钟，或者先在10～15V下阳极氧化处理20～60 分钟后，再于大于15V且≤25V下阳极氧化处理20～60 分钟；将阳极氧化处理后的薄膜在100‑500℃下热处理1～5小时，得到二氧化钛介孔层。
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