[发明专利]光学系统及使用该系统的物体表面三维形貌侦测方法

摘要

本发明公开了一种光学系统以及一种物体表面或内部光反射接口三维形貌侦测方法。其中，该方法将光调制单元产生的至少一点光源投射至一物体表面或内部光反射接口的至少一位置。再以该影像捕获设备接收由该至少一深度位置反射的至少一反射物光，以产生该深度相对应的一特定光学绕射影像，其具有至少一光学绕射图案。该侦测方法利用精密深度位移进行各个深度所对应光学绕射图案的记录，以形成一具有多个光学绕射图案的数据库。将物体表面或内部光反射接口三维形貌深度所测量得到的光学绕射图案，利用控制与计算单元，将测量光学绕射图案与多个光学绕射图案样本进行正归化影像匹配运算，以决定对应该光学绕射图案的位置的精密深度信息。

主权项

一种光学系统，其特征在于，包括：一光源模块，用以产生至少一点光源；一物镜，用以将该至少一点光源投射至一物体表面或内部光反射接口的至少一位置；一影像捕获设备，用以接收由该至少一位置反射的至少一反射物光，以产生相应的一光学绕射影像，其具有至少一光学绕射图案，每一光学绕射图案对应该物体表面或内部光反射接口上的一形貌深度位置；以及一控制与计算单元，将该光学绕射影像中对应每一形貌深度位置的光学绕射图案与多个光学绕射图案样本进行运算，以决定每一物体表面或内部光反射接口位置的形貌深度。