[发明专利]一种离轴照明系统有效
| 申请号： | 201610876579.7 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885040B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 尉佩 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种离轴照明系统，沿光路依次包括激光光源、四分之一波片和渥拉斯顿棱镜以及傅里叶透镜，激光光源、四分之一波片、渥拉斯顿棱镜以及傅里叶透镜同轴设置，四分之一波片和渥拉斯顿棱镜还与一控制器连接，控制器带动四分之一波片和渥拉斯顿棱镜在光路中切换或旋转。四分之一波片使线偏振光转换成圆偏振光，渥拉斯顿棱镜则使该圆偏振光转变成两束振动方向垂直的线偏振光，通过设置若干交替排列的四分之一波片和渥拉斯顿棱镜，并通过控制器带动四分之一波片和渥拉斯顿棱镜在光路中切换或旋转，以实现二级、四级等多级光瞳照明模式，有效提升了光刻机投影物镜的焦深，且元件成本低廉、安装调试简单、效果稳定，安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 照明 系统 | ||
【主权项】：
一种离轴照明系统，其特征在于，沿光路依次包括激光光源、四分之一波片、渥拉斯顿棱镜以及傅里叶透镜，所述激光光源、四分之一波片、渥拉斯顿棱镜以及傅里叶透镜同轴设置，所述四分之一波片和渥拉斯顿棱镜还与一控制器连接，所述控制器带动所述四分之一波片和渥拉斯顿棱镜在光路中切换或旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610876579.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
