[发明专利]一种光学测量装置和方法

摘要

本发明提供了一种光学测量装置，其在基板上方设置一光学检测模块，光学检测模块上设置了参数检测组，参数检测组包括标记位置测量模块、线宽测量模块和光刻胶胶厚测量模块。因此对于平板领域和小于2um的图形，由于光刻胶胶厚测量模块与线宽测量模块等结合在同一个参数检测组中，因此在分析线路线宽和胶厚相关性时，由于装置皆安装在同一个光学检测模块上，因此能够同时对应相同位置，有利于分析；本发明提供的测量方法，可以找出作线宽和胶厚相关性分析时的最佳环境，避免了盲目分析，提高了效率。

主权项

1.一种光学测量装置，其特征在于，包括/n一基板载台，用于放置基板；/n一光学检测载台框架，从所述基板载台一侧延伸至相对的一侧，所述光学检测载台框架上承载有一光学检测滑块，可沿所述光学检测载台框架滑动；/n一光学检测单元，固定在所述光学检测滑块上，随着所述光学检测滑块沿所述光学检测载台框架移动，所述光学检测单元上设置有参数检测组，所述参数检测组包括标记位置测量模块、线宽测量模块和光刻胶胶厚测量模块；/n当线宽测量模块/光刻胶胶厚测量的测量范围的半径r＞d时，同时对所述基板上的检测标记进行光刻胶胶厚测量和线宽测量，并进行相关性测试；当r＜d时，光刻胶胶厚测量和线宽测量进行测量路径规划，以测量时间最短确定测量位置，并定义每个位置的测量模式，按规划的测量路径运动到每个位置处时，按定义的测量模式对当前位置的检测标记进行光刻胶胶厚和/或线宽测量，之后进行光刻胶胶厚和线宽相关性测试，其中d为线宽测量模块和光刻胶胶厚测量模块的间距。/n