[发明专利]一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法有效
| 申请号： | 201610877387.8 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106531890B | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 金平实;黄爱彬;李荣;周奕杰;包山虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/42;C23C14/12;C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 郑优丽;熊子君 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种牺牲模板法制备介观结构二氧化钛并应用于钙钛矿太阳能电池介孔层的方法，包括：以熔点200～400℃之间的长链有机物为原料粉体，采用真空蒸发法在基底表面沉积具有网络结构的长链有机物层，其中蒸发电流为26～40 A，沉积时间5～20分钟；以纯钛为靶材，以氩气和氧气为溅射气体，采用直流磁控溅射法在表面沉积有所述长链有机物层的基底上沉积得到二氧化钛纳米介孔层。本发明在所述长链有机物层表面沉积二氧化钛时，随着磁控溅射时产生的高能粒子轰击网络结构的长链有机物层而产生高温，导致牺牲模板的熔化，最终获得由互相独立且均匀分布的锐钛矿相二氧化钛纳米柱组成的二氧化钛纳米介孔层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 牺牲 模板 法制 备介观 结构 氧化 应用于 钙钛矿 太阳能电池 介孔层 方法 | ||
【主权项】：
1.一种牺牲模板法制备钙钛矿太阳能电池用二氧化钛纳米介孔层的方法，其特征在于，包括：以熔点在200～400℃之间的长链有机物为原料粉体，采用真空蒸发法在基底表面沉积具有网络结构的长链有机物层，其中蒸发电流为26～40 A，沉积时间5～20分钟；以纯钛为靶材，以氩气和氧气为溅射气体，采用直流磁控溅射法在表面沉积有所述长链有机物层的基底上沉积得到二氧化钛纳米介孔层。
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