[发明专利]晶圆储存箱在审
| 申请号： | 201610878079.7 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106428923A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D85/90 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 孙力坚;聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆储存箱，包括间隔放置于箱体中的多个储存筒，箱体中设置有多根套轴，所述储存桶套设于所述套轴上；所述储存筒包括内筒及外圈，所述内筒的周面间隔设有多个安放槽，所述外圈上设有与所述安放槽对应的卡槽，晶圆放置于所述安放槽与卡槽之间。本发明中，间隔设置的储存筒，保证相邻储存筒上的晶圆不发生干涉；晶圆围绕放置在储存筒上，结构紧凑，占用空间小，仓储成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 储存 | ||
【主权项】：
一种晶圆储存箱，其特征在于：包括间隔放置于箱体(1)中的多个储存筒，箱体(1)中设置有多根套轴(2)，所述储存桶套设于所述套轴(2)上；所述储存筒包括内筒(3)及外圈(4)，所述内筒(3)的周面间隔设有多个安放槽(5)，所述外圈(4)上设有与所述安放槽(5)对应的卡槽(6)，晶圆(7)放置于所述安放槽(5)与卡槽(6)之间。
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