[发明专利]用于阻抗匹配电路中的均匀性控制电路有效
| 申请号： | 201610878114.5 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN107017145B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·马拉什塔内夫;菲力克斯·科扎克维奇;肯尼思·卢凯西;约翰·帕特里克·霍兰德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/302 | 分类号： | H01J37/302;H01J37/317;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及用于阻抗匹配电路中的均匀性控制电路。描述了阻抗匹配电路(IMC)。所述IMC包括第一电路，所述第一电路包括沿路径限定的第一多个调谐元件。所述第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)发生器的输入端。所述第一电路被耦合到输出端。所述IMC还包括具有第二多个调谐元件的第二电路。所述第二电路具有耦合到兆赫(MHz)RF发生器的输入端，并被耦合到所述输出端。所述IMC包括由所述第一电路的所述多个调谐元件中的至少一个限定的均匀性控制电路(UCC)。所述UCC沿着所述第一电路的所述路径串联连接以限定电容，所述电容至少部分地影响由所述等离子体室产生的蚀刻速率的径向均匀性分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阻抗匹配 电路 中的 均匀 控制电路 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配电路，其包括：第一电路，其包括沿路径限定的第一多个调谐元件，所述第一电路具有耦合到千赫(kHz)射频(RF)发生器的输入端，其中所述第一电路被耦合到输出端；第二电路，其具有第二多个调谐元件，其中所述第二电路具有耦合到兆赫(MHz)RF发生器的输入端，并被耦合到所述输出端；其中所述第一和第二电路的所述输出端被耦合到RF传输线的输入端，所述RF传输线耦合到用于处理半导体衬底的等离子体室的电极，以及均匀性控制电路，其由所述第一电路的所述多个调谐元件中的至少一个限定，其中所述均匀性控制电路沿所述第一电路的所述路径串联连接以限定电容，所述电容至少部分地影响通过所述等离子体室产生的蚀刻速率的径向均匀性分布，其中所述电容的改变导致所述径向均匀性分布的调整，其中所述kHz RF发生器被配置成在50kHz到低于1000kHz的范围内操作。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610878114.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
