[发明专利]一种单晶棒引晶和放肩装置、单晶炉及其工艺方法在审
| 申请号： | 201610879784.9 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106435729A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 周浩;尹东坡;司佳勇 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/14;C30B15/20 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 王丽巧 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶棒引晶和放肩装置、单晶炉及其工艺方法，属于单晶硅制造技术领域，单晶棒引晶和放肩装置，包括位于坩埚上方的重锤，在所述重锤的靠近籽晶连接端的侧壁上固定有反射盖，所述反射盖呈锥面形，锥顶角度为150°至180°，锥面朝向硅液；单晶炉包括所述的单晶棒引晶和放肩装置；单晶棒引晶和放肩的工艺方法，利用上述所述的单晶炉进行，步骤包括：引晶步骤：坩埚转速为8～12rpm，籽晶转速为10～13rpm，引晶长度为120～200mm，细晶的直径为4～8mm；放肩步骤：坩埚转速为10～12rpm，籽晶转速为10～13rpm，放肩提拉速度0.5～0.8mm/min。本发明能够大大提高引晶和放肩的成功率，缩短引晶和放肩时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶棒引晶 装置 单晶炉 及其 工艺 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶棒引晶和放肩装置，包括位于坩埚（10）上方的重锤（13），其特征在于：在所述重锤（13）的靠近籽晶（14）连接端的侧壁上固定有反射盖（11），所述反射盖（11）呈锥面形，锥顶角度为150°至180°，锥面朝向硅液（7）。
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