[发明专利]超高纯四氯化硅的制备方法在审
申请号: | 201610880095.X | 申请日: | 2016-10-09 |
公开(公告)号: | CN106379902A | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 郭树虎;赵雄;严大洲;万烨;姜利霞;王芳 | 申请(专利权)人: | 洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 赵囡囡,金田蕴 |
地址: | 471023 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明公开了一种超高纯四氯化硅的制备方法。该制备方法包括以下步骤S1,将高纯四氯化硅在氮气作用下连续通入光化学反应器内;S2,在紫外光照条件下,连续向光化学反应器内通入氯气,使高纯四氯化硅中的含氢杂质与氯气发生光氯化反应,得到初级产品;S3,将初级产品从汽提塔的上部通入汽提塔内,氮气从汽提塔的底部通入,以去除初级产品中未反应的氯气得到次级产品;以及S4,将次级产品送入四氯化硅提纯塔,通过连续脱轻及脱重后,得到超高纯四氯化硅。采用该方法制备的光纤四氯化硅,其纯度可达99.9999999%以上,相关基团红外透过指标满足甚至超过Merk公司高纯四氯化硅指标,达到了超高纯四氯化硅质量要求。 | ||
搜索关键词: | 高纯 氯化 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超高纯四氯化硅的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,将高纯四氯化硅在氮气作用下连续通入光化学反应器内;S2,在紫外光照条件下,连续向所述光化学反应器内通入氯气,使所述高纯四氯化硅中的含氢杂质与氯气发生光氯化反应,得到初级产品;S3,将所述初级产品从汽提塔的上部通入所述汽提塔内,氮气从所述汽提塔的底部通入,以去除所述初级产品中未反应的氯气得到次级产品;以及S4,将所述次级产品送入四氯化硅提纯塔,通过连续脱轻及脱重后,得到所述超高纯四氯化硅。
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