[发明专利]非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器

摘要

本公开的各实施例涉及一种非垂直式自动聚焦系统以及相应的光学仪器，该非垂直式自动聚焦系统包括光源；入射模块，被配置为接收从所述光源发射的光，并且将所接收的光聚焦到样品上；出射模块，被配置为接收从所述样品反射的光，并且将所接收的光聚焦到光探测器的靶面上；以及光探测器，被配置为将聚焦于所述靶面的光信号转换电信号，并且用于计算处理，以自动计算并确定出所述入射模块的焦点位置的信息；其中，从所述入射模块到所述样品的入射光路和从所述样品到所述出射模块的出射光路与所述样品的表面法线的夹角均不等于零。本公开的非垂直式自动聚焦系统有利地扩展了现有光学仪器的设计空间，并且实现了透明样品的准确聚焦。

主权项

一种非垂直式自动聚焦系统，其特征在于，包括：光源(10)；入射模块(20)，被配置为接收从所述光源发射的光，并且将所接收的光聚焦到样品(S)上；出射模块(30)，被配置为接收从所述样品反射的光，并且将所接收的光聚焦到光探测器(40)的靶面上；以及所述光探测器(40)，被配置为将聚焦于所述靶面的光信号转换电信号，并且用于计算处理，以自动计算并确定出所述入射模块的焦点位置的信息；其中，从所述入射模块到所述样品的入射光路和从所述样品到所述出射模块的出射光路与所述样品的表面法线的夹角均不等于零。