[发明专利]集成电路生产车间用地面抽尘装置在审
| 申请号： | 201610881586.6 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106419735A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | A47L5/38 | 分类号： | A47L5/38 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 孙力坚;聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 生产 车间 用地 面抽尘 装置 | ||
【主权项】：
一种集成电路生产车间用地面抽尘装置，其特征在于：包括通过纵横梁(1)支撑的抽吸板(2)，所述抽吸板(2)上均布有微抽吸孔(3)，位于微抽吸孔(3)的下方，所述纵横梁(1)的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管(4)，所述抽吸管(4)的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管(4)上设有独立的控制阀并连接吸尘设备。
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