[发明专利]带实时高度调节的晶圆喷淋头结构在审
| 申请号： | 201610881589.X | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106423646A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 吕耀安 | 申请（专利权）人： | 无锡宏纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05B15/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 孙力坚;聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区清源路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，包括固定安装于喷淋头安装板上的竖向气缸，所述竖向气缸的活塞杆下端固定安装有喷淋头及测距仪，喷淋头位于活塞杆的一侧，测距仪位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸的行程控制单元连接。本发明采用实时检测喷淋距离，并实时调节，提高喷淋的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 实时 高度 调节 喷淋 结构 | ||
【主权项】：
一种带实时高度调节的晶圆喷淋头结构，其特征在于：包括固定安装于喷淋头安装板(2)上的竖向气缸(3)，所述竖向气缸(3)的活塞杆下端固定安装有喷淋头(4)及测距仪(5)，喷淋头(4)位于活塞杆的一侧，测距仪(5)位于活塞杆的下端；还包括一控制器，所述测距仪(5)的输出端与控制器的输入端连接，所述控制器的输出端与竖向气缸(3)的行程控制单元连接。
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