[发明专利]一种柔性压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种柔性压力传感器，包括相对设置的两个电极结构，每一电极结构包括柔性衬底以及设置在柔性衬底上的导电层，两个电极结构的导电层相互朝向地抵触连接；其中，柔性衬底包括衬底本体及设置于衬底本体上的多个凸结构，导电层覆设在柔性衬底的具有多个凸结构的表面上。根据本发明的柔性压力传感器利用位于其内部的由柔性材料形成的多个凸结构在受到压力作用时容易变形的特点，实现了两个相对的电极结构中的导电层在接触时接触面积的变化而引起的电阻的变化、调节和控制，进而实现了压力传感。本发明还公开了上述柔性压力传感器的制作方法，相比现有技术中柔性压力传感器一般所采用的MEMS加工工艺，该制作方法更为简单便利、成本更加低廉。

主权项

一种柔性压力传感器，其特征在于，包括相对设置的两个电极结构，每一所述电极结构包括柔性衬底以及设置在所述柔性衬底上的导电层，所述两个电极结构的导电层相互朝向地抵触连接；其中，所述柔性衬底包括衬底本体及设置于所述衬底本体上的多个凸结构，所述导电层覆设在所述柔性衬底的具有多个凸结构的表面上。