[发明专利]基于激光刻蚀技术制备微针阵列模板的方法及产物与应用在审

专利信息
申请号: 201610882818.X 申请日: 2016-10-10
公开(公告)号: CN106511257A 公开(公告)日: 2017-03-22
发明(设计)人: 朱锦涛;李朝;柳佩;陶娟;董励芸 申请(专利权)人: 华中科技大学;华中科技大学同济医学院附属协和医院
主分类号: A61K9/00 分类号: A61K9/00;A61K47/34;A61K47/36;A61L31/06;A61L31/04;A61L31/14;B23K26/362
代理公司: 华中科技大学专利中心42201 代理人: 许恒恒
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种基于激光刻蚀技术制备微针阵列模板的方法及产物与应用,其中该制备方法包括以下步骤(1)将PDMS和固化剂固化冷却后得到PDMS基板;(2)设计激光刻蚀掩模板的图样使该图样为同心圆阵列;(3)将PDMS基板放置于激光雕刻机的雕刻区域,并设置激光加工工艺条件参数;接着,参照激光刻蚀掩模板图样对PDMS基板进行激光处理,从而得到经过激光刻蚀的PDMS基板,即微针阵列模板。本发明通过对其关键激光刻蚀的工艺条件进行改进,能够有效解决微针阵列模板制备过程复杂、价格昂贵、结构设计性差以及微针阵列模板大规模生产和应用困难的问题。
搜索关键词: 基于 激光 刻蚀 技术 制备 阵列 模板 方法 产物 应用
【主权项】:
一种基于激光刻蚀技术制备微针阵列模板的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)PDMS基板的制备:将PDMS和固化剂按质量比20:1~5:1混合得到混合物,然后将该混合物抽真空至‑0.08MPa的真空度除去所述混合物中的气泡,然后在70~90℃下加热固化1~4h使PDMS固化;冷却后即得到PDMS基板;(2)激光刻蚀掩模板的设计:设计激光刻蚀掩模板的图样使该图样为同心圆阵列;对于所述同心圆阵列,任意一个同心圆中各个圆的直径为50~500μm,相邻同心圆的圆心间距为200~600μm;(3)微针阵列模板的刻蚀:将所述步骤(1)得到的所述PDMS基板放置于激光雕刻机的雕刻区域,并设置激光电流为3~20mA,激光扫描速率为3~20cm/s,激光加工次数为1~10次;接着,参照所述步骤(2)设计得到的激光刻蚀掩模板图样对所述PDMS基板进行激光处理,使得在该PDMS基板上形成根据所述同心圆阵列分布的激光曝光区域,从而得到经过激光刻蚀的PDMS基板,即微针阵列模板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华中科技大学;华中科技大学同济医学院附属协和医院,未经华中科技大学;华中科技大学同济医学院附属协和医院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610882818.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top