[发明专利]基板研磨装置及调整基板研磨位置的方法在审
| 申请号： | 201610883984.1 | 申请日： | 2016-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN106272029A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王玉生;许敏 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基板研磨装置包括研磨机构、搬运机构和控制器，研磨机构包括研磨导轨、研磨台和对位镜头，研磨导轨上设有第一停靠区和第二停靠区，研磨台连接在研磨导轨上，研磨台用于承接基板，并将基板运送至第二停靠区，对位镜头用于为基板拍摄对位图；搬运机构包括搬运导轨和搬运台，搬运导轨与研磨导轨互成预设角度地交叉设置，搬运台连接在搬运导轨上，搬运台用于将基板运送至第一停靠区；控制器用于采集对位图，并根据对位图中的图标偏离中心位置的偏移距离以及预设角度计算出第一移送距离和第二移送距离，控制器可控制研磨台移动第一移送距离，同时控制搬运台夹取基板移动第二移送距离后将基板放置在研磨台上。本发明还涉及一种调整基板研磨位置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 调整 位置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板研磨装置，包括研磨机构(12)和控制器(14)，其特征在于，该基板研磨装置还包括搬运机构(13)，该研磨机构(12)包括研磨导轨(123)、研磨台(124)和对位镜头(125)，该研磨导轨(123)上设有第一停靠区和第二停靠区，该研磨台(124)可移动地连接在该研磨导轨(123)上，该研磨台(124)用于在该第一停靠区承接基板，并将基板运送至该第二停靠区，该对位镜头(125)用于为该第二停靠区内的基板拍摄对位图；该搬运机构(13)包括搬运导轨(133)和搬运台(134)，该搬运导轨(133)从该第一停靠区的上方穿过，并与该研磨导轨(123)互成预设角度地交叉设置，该搬运台(134)可移动地连接在该搬运导轨(133)上，该搬运台(134)用于将基板运送至该第一停靠区，并将该基板放置在该研磨台(124)上；该控制器(14)分别与该研磨台(124)、对位镜头(125)和搬运台(134)信号连接，该控制器(14)用于采集该对位图，并根据该对位图中的图标偏离对位图中心位置的偏移距离以及该预设角度计算出第一移送距离和第二移送距离，该控制器(14)可控制该研磨台(124)移动第一移送距离，同时控制该搬运台(134)夹取基板移动第二移送距离后将基板放置在该研磨台(124)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山龙腾光电有限公司，未经昆山龙腾光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610883984.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
