[发明专利]原位光电多功能耦合原子力显微镜测试系统

摘要

本发明公开了一种原位光电多功能耦合原子力显微镜测试系统，包括光电器件的光源与伏安测试系统、多功能探针原子力显微镜系统和气氛保护系统。光电器件的光源与伏安测试系统包括夹具、光源和数字源表；多功能探针原子力显微镜系统包括多功能探针、激光发射器、激光光斑位置检测器、激光检测器、数据引出线和电脑显示器；气氛保护系统包括箱体、进气出气装置、螺旋式气流形成装置、温湿控制装置、气体存放装置、咬合设计推拉门和观察窗。本发明的优点在于，综合系统将光电测试部分和多功能探针原子力显微镜有机结合在一起，可以原位、同步、实时测试工作样品的宏观光电性能和微观信息，如电子、离子、极化等微观变化信息。

主权项

一种原位光电多功能耦合原子力显微镜测试系统，包括光电器件的光源与伏安测试系统、多功能探针原子力显微镜系统和气氛保护系统。所述光电器件的光源与伏安测试系统包括夹具、光源和数字源表；所述多功能探针原子力显微镜系统包括热、磁、电势、电子扫描等多功能探针、激光发射器、激光光斑位置检测器、激光检测器、数据引出线和电脑显示器；所述气氛保护系统包括气氛保护箱体、螺旋式气流形成装置、温湿控制和感应装置、气体存放装置、咬合部位推拉门和观察窗，所述气氛保护箱体设置有形成螺旋式气流的装置；所述形成螺旋式气流的装置与气体存放装置通过管道相连；所述管道装有用于控制进气气流大小的调节装置；所述箱体内置有用于控制箱体内温度、湿度的温湿控制和感应装置；所述的温湿控制装置用于感应箱体内的温度值和湿度值；所述温湿控制装置用于调控箱体内的温度值和湿度值；所述箱体用于通入气氛保护原子力显微镜的头部(Head)和多功能探针测试；所述箱体下部设有多功能探针引出线与箱体外的电脑显示器和激光检测器相连；所述箱体下部有光电测试部分用于夹持器件的夹具；所述夹具与数字源表相连并连接电脑显示器；所述光源由箱体外的底部或侧面发出，穿过并激发光电器件进行测试。