[发明专利]掩膜版及其曝光方法、以及液晶显示面板有效
申请号: | 201610885326.6 | 申请日: | 2016-10-10 |
公开(公告)号: | CN106527041B | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 周刘飞;王杰 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
主分类号: | G03F1/54 | 分类号: | G03F1/54;G03F1/00;G02F1/1333 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省南京市仙林大道科*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种掩膜版及其曝光方法、以及液晶显示面板,掩膜版上设有图形区和位于图形区外的遮光带,图形区内设有3个曝光区域,分别为第一曝光区域、第二曝光区域、和第三曝光区域;遮光带内设有狭缝区域;所述图形区内设有纵横交错的曝光源极线和曝光栅极线,曝光源极线的中间呈断开状,曝光栅极线为一条连续的线条。采用本发明的方法,形成拼接液晶显示面板,且在拼接液晶显示面板的源极线和栅极线的中间均呈断开状;本发明能解决画面失真,闪烁,运动画面模糊等问题,同时能降低制造难度和生产成本。 | ||
搜索关键词: | 液晶显示面板 曝光区域 掩膜版 栅极线 曝光 断开状 曝光源 图形区 遮光带 极线 拼接 画面失真 运动画面 源极线 纵横交错 狭缝 生产成本 线条 闪烁 模糊 制造 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜版,掩膜版上设有图形区和位于图形区外的遮光带,其特征在于,图形区内设有3个曝光区域,分别为第一曝光区域、第二曝光区域、和第三曝光区域;遮光带内设有狭缝区域;所述图形区内设有纵横交错的曝光源极线和曝光栅极线,曝光源极线的中间呈断开状,曝光栅极线为一条连续的线条,利用掩膜板的狭缝区域对拼接液晶显示面板的栅极线的中间进行曝光,使拼接液晶显示面板的栅极线的中间曝光呈断开状,通过断开和连续的源极线和栅极线将拼接液晶显示面板分成四个独立区域。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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