[发明专利]内外喷气式低压化学气相沉淀腔

摘要

本发明涉及一种内外喷气式低压化学气相沉淀腔，包括腔体，所述腔体中内置有导气结构及用于支撑晶圆的支撑结构，所述导气结构为一环形腔套，所述环形腔套的内壁安装有多根径向设置的外导气管，所述支撑结构包括一支撑管，所述支撑管轴向设置于所述环形腔套中，所述支撑管的周壁上借助卡夹夹持晶圆，支撑管中轴承设有内导气管，所述内导气管与所述支撑管之间设有多根导管，所述导管的出气端置于相邻的卡夹之间。本发明采用环状形的导气结构及置于该导气结构中的支撑管，支撑管采用放射方式固定晶圆，大大降低晶圆的支撑体积，减小整个沉淀腔的体积，并采用内外导气结构，提高反应气体与晶圆的接触均匀度。

主权项

一种内外喷气式低压化学气相沉淀腔，包括腔体(1)，所述腔体(1)中内置有导气结构(3)及用于支撑晶圆的支撑结构(2)，其特征在于：所述导气结构(3)为一环形腔套，所述环形腔套的内壁安装有多根径向设置的外导气管(4)，所述支撑结构(2)包括一支撑管，所述支撑管轴向设置于所述环形腔套中，所述支撑管的周壁上借助卡夹(5)夹持晶圆(6)，支撑管中轴承设有内导气管(7)，所述内导气管(7)与所述支撑管之间设有多根导管(8)，所述导管(8)的出气端置于相邻的卡夹(5)之间。