[发明专利]一种射线微探针的热台、热台装置及其实验方法

摘要

本发明公开了一种射线微探针的热台，其包括：热台本体，其前壁和后壁上分别对应设有同轴的入射窗口和透射窗口，底部可安装在样品定位台上；加热器；样品夹持器，其套设于高发热面积比加热器内；加热器和样品夹持器均具有通光孔，所述通光孔与所述入射窗口和透射窗口同轴。本发明提供的射线微探针的热台可立式工作，样品温度梯度小。此外，该热台还可具有高透光率、腔体真空、易于对中、样品温度均匀性好、样品种类和形状适应性广、极限工作温度高等特性。此外，本发明还公开了一种热台装置及其实验方法。本发明提供的热台装置背散荧光探测效率高，为试样提供足够的可旋转角和探测角、周全的气氛保护和真空环境。本发明尤其适用于硬X射线微探针。

主权项

1.一种射线微探针的热台装置，其特征在于，包括：按射线入射方向依次排列的第一电离室、K‑B镜、一热台以及衍射信号探测器和第二电离室，以及位于所述热台和K‑B镜之间的荧光探测器；所述热台包括：热台本体，其内部具有腔体，所述热台本体的前壁和后壁上分别设有同轴的入射窗口和透射窗口，底部可安装在样品定位台上，所述热台本体可拆开和组装以打开和闭合所述腔体，其中入射窗口和透射窗口的设置可根据不同的探测角要求和实验目的进行对调；加热器，其设于所述腔体内；样品夹持器，其套设于所述加热器内；所述加热器和样品夹持器均具有通光孔，所述通光孔与所述入射窗口和透射窗口同轴；所述荧光探测器收集经过所述入射窗口的入射X光照射试样激发的背向散射的荧光信号以对其进行后续分析，所述荧光探测器具有从侧面通过一与光轴垂直的连接杆伸入光路的探头，该探头的工作面大致正对样品被测表面，用于收集入射射线轰击样品后发出的背散荧光信号，该探头的中心处开孔并集成消杂散光针孔，围绕该消杂散光针孔分布有若干荧光探头环形阵列，消杂散光针孔与样品之间的距离通过一螺旋推杆机构进行调节，以改善消杂散光效果。