[发明专利]一种基于F4‑TCNQ/C60结构的紫外‑可见有机光电探测器的制备方法

摘要

本发明提供了一种基于F4‑TCNQ/C60结构的紫外‑可见有机光电探测器的制备方法，包括如下步骤：将表面清洗干净的透光衬底置于热蒸发镀膜仪的生长室中，并将导电薄膜电极层的材料粉末、F4‑TCNQ粉末、C60粉末、金属薄膜电极层的金属颗粒分别放置于四个钼舟内，并将四个钼舟安装在生长室的四对电极上，生长室抽真空，先对装有导电薄膜电极层的材料粉末的钼舟进行电流调节，在透光衬底上蒸镀导电薄膜层，蒸镀完毕后将电流调为零，自然冷却5min；再采用相同的方法依次继续蒸镀F4‑TCNQ、C60和金属薄膜电极层。制备得到的光电探测器件具有较大的光谱响应，其响应波段为350‑700nm。

主权项

一种基于F4‑TCNQ/C60结构的紫外‑可见有机光电探测器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将表面清洗干净的透光衬底置于热蒸发镀膜仪的生长室中，并将导电薄膜电极层的材料粉末、F4‑TCNQ粉末、C60粉末、金属薄膜电极层的金属颗粒分别放置于四个钼舟内，并将四个钼舟安装在生长室的四对电极上，生长室抽真空至9.0~9.5×10‑4Pa，先对装有导电薄膜电极层的材料粉末的钼舟进行电流调节，在透光衬底(1)上蒸镀导电薄膜层(2)，蒸镀完毕后将电流调为零，于真空度9.0~9.5×10‑4Pa下自然冷却5min；再采用相同的方法依次继续蒸镀F4‑TCNQ薄膜层(3)、C60薄膜层(4)和金属薄膜电极层(5)，最终制备得到所述基于F4‑TCNQ/C60结构的紫外‑可见有机光电探测器；所述导电薄膜层(2)、F4‑TCNQ薄膜层(3)、C60薄膜层(4)和金属薄膜电极层(5)蒸镀时的蒸发速率分别为2Å/s、0.5Å/s、1.5Å/s、2Å/s。