[发明专利]压电自感知执行器及其电场干扰的滤波方法有效
| 申请号： | 201610891068.2 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106486594B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 单小彪;梁云雷;谢涛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/09;H01L41/113 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 梁超 |
| 地址： | 150006 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 压电自感知执行器及其电场干扰的滤波方法，属于滤波技术领域。本发明是为了解决将一片或几片压电材料功能集成后同时作为执行器和传感器来使用，传感器部分存在电场干扰的问题。压电自感知执行器的多片执行器压电陶瓷采用机械上串联、电学上并联的方式构成压电叠堆，该压电叠堆上表面和下表面上分别设置一片绝缘层，传感器压电陶瓷设置在压电叠堆上表面的绝缘层上；滤波方法为：采用电荷放大器采集传感器压电陶瓷的输出电荷，电荷放大器将采集的电荷信号转换为电压信号输出；采用计算机采集驱动电压；再经过处理后获得传感器压电陶瓷在外载荷力作用时获得的输出电压真值。本发明用于压电自感知执行器电场干扰的滤波。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 感知 执行 及其 电场 干扰 滤波 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电自感知执行器电场干扰的滤波方法，其特征在于，所述压电自感知执行器包括三片绝缘层(2)、多片执行器压电陶瓷(3)和传感器压电陶瓷(4)，多片执行器压电陶瓷(3)采用机械上串联、电学上并联的方式构成压电叠堆，该压电叠堆上表面和下表面上分别设置一片绝缘层(2)，传感器压电陶瓷(4)设置在压电叠堆上表面的绝缘层(2)上，传感器压电陶瓷(4)的上表面设置一片绝缘层(2)；对所述压电叠堆施加驱动电压UP(t)，同时对在传感器压电陶瓷(4)上方施加外载荷力F；所述滤波方法为：采用电荷放大器(5)采集传感器压电陶瓷(4)的输出电荷，电荷放大器(5)将采集的电荷信号转换为电压信号输出；采用计算机(7)采集驱动电压UP(t)；计算机(7)将驱动电压UP(t)进行傅里叶展开，形成不同幅值、频率的正弦波电压叠加，分别计算传感器压电陶瓷(4)受到外载荷力F＝0，每个正弦波电压单独作为压电叠堆的驱动电压时，传感器压电陶瓷(4)产生的误差电压，将所有误差电压叠加获得驱动电压UP(t)作为压电叠堆的驱动电压时，传感器压电陶瓷(4)产生的总误差电压；将电荷放大器(5)输出的电压信号减去所述总误差电压，获得传感器压电陶瓷(4)在外载荷力F作用时获得的输出电压真值，实现对压电自感知执行器电场干扰的滤波。
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