[发明专利]单色仪扫描波长机械位置误差的校正方法

摘要

本发明涉及一种单色仪扫描波长机械位置误差方程的校正方法，包括用标准光源或标准样品提供的标准光谱，通过对变杆长的标准光谱采集、方程参数求解、最优寻值和硬调软修过程，校正单色仪或光谱仪光栅扫描机构由机械位置误差引起的波长扫描误差。采用一种最优寻值确定最优杆长比和修正初始波长的方法，对光栅正弦扫描型单色仪或光谱仪的扫描波长误差进行了有效的校正。在软件上修正初始波长，从而补偿单色仪扫描机械位置误差，解决单色仪的光栅扫描机构由于光零位置误差和滚子导向误差引起的波长扫描误差大、无法满足仪器波长精度的问题，提高仪器波长的准确性。该方法软硬件相结合，简单易行，适用于单色仪或光谱仪产品检验调试时的波长修正。

主权项

一种单色仪扫描波长机械位置误差的校正方法，其特征在于，包括用标准光源或标准样品提供的标准光谱，通过对变杆长的标准光谱采集、单色仪扫描波长机械位置误差方程参数求解、最优寻值和硬调软修过程，校正单色仪或光谱仪光栅扫描机构由机械位置误差引起的波长扫描误差,单色仪扫描波长机械位置误差方程为：式中：λ为标准波长，Δλ为波长误差：Δλ＝λ0‑λ   (2)式中：λ0为标准波长对应的单色仪输出波长；式1中：k为分光系统机械位置误差系数：d为光栅栅距，α0为光栅入射角和出射光线的夹角理论值，L0为摆杆理论长度，θ为滚子导向误差角，即摆杆滚子导向面相对丝杠轴线垂直方向的夹角；α为光栅角度参数，a＝2d cosα，其中：α为光栅入射角和出射光线的夹角实际值；L为摆杆实际的长度；γ＝β‑θ，其中：β为光零位置误差角，θ为滚子导向误差角；n为杆长调节比，式中：L’为改变或校正后的摆杆长度，L为系统调试初始状态下的摆杆长度；m为初始波长设定值。