[发明专利]化学机械研磨液自动配制控制系统在审
| 申请号： | 201610891559.7 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106442408A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 徐天龙;俞燕 | 申请（专利权）人： | 上海胤飞自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G05D11/03 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司11514 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 201204 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械研磨液自动配制控制系统，包括控制单元、执行单元、测量单元、罐体单元和管线单元；其中，管线单元包括，研磨液管线和双氧水管线，研磨液管线和双氧水管线上均安装有测量单元和执行单元；罐体单元包括配制罐和设置在配制罐内的搅拌装置，配制罐用于存放由研磨液原液和双氧水原液配制得到的研磨液；测量单元为折光仪，控制单元用于实时接收所述折光仪检测的数据，并结合预设的研磨液浓度阈值生成执行命令传输给执行单元。其效果是：能够实时检测各管线和罐体中的液体浓度值，并根据测量的实时数据对配制罐中的研磨液浓度进行自动控制，不需要增加额外的维护量和维护费用，并且提高了检测的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 自动 配制 控制系统 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨液自动配制控制系统，其特征在于：包括控制单元、执行单元、测量单元、罐体单元和管线单元；其中，所述管线单元包括研磨液管线(3)和双氧水管线(4)，研磨液管线(3)用于将研磨液原液输送给配制罐(2)，双氧水管线(4)用于将双氧水原液输送给配制罐(2)，所述研磨液管线(3)和双氧水管线(4)上均安装有测量单元和执行单元；所述罐体单元包括配制罐(2)和设置在配制罐(2)内的搅拌装置(23)，配制罐(2)用于存放由研磨液原液和双氧水原液配制得到的研磨液，搅拌装置(23)根据控制单元发出的搅拌命令启动搅拌或停止搅拌，所述配制罐(2)上安装有测量单元和执行单元；所述测量单元为折光仪；所述执行单元用于根据控制单元发出的执行命令进行动作；所述控制单元用于实时接收所述折光仪检测的数据，并结合预设的研磨液浓度阈值生成执行命令传输给执行单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海胤飞自动化科技有限公司，未经上海胤飞自动化科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610891559.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
