[发明专利]一种坩埚升降法单晶金属生长炉在审
| 申请号： | 201610891676.3 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN106222733A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 孔令杰;张志琴;吴克松 | 申请（专利权）人： | 安徽贝意克设备技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种坩埚升降法单晶金属生长炉，包括炉体，所述炉体内部一侧顶端固定有步进电机，所述步进电机底端与丝杆进行传动连接，所述丝杆上安装有滑块；所述炉体内部另一侧固定有加热炉，所述加热炉中间贯穿设置有炉管，所述炉管与滑块相互固定连接，所述炉管顶端连接有法兰，所述炉管底端连接有真空计；所述炉体内部底端还固定有变压器。本发明通过升降机构实现加热炉匀速起落，能够通过调节电机转速，自由控制升降速度，满足晶体结晶点的变化要求，整套设备结构设计简洁合理，科学实用，适合推广和使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 升降 法单晶 金属 生长 | ||
【主权项】：
一种坩埚升降法单晶金属生长炉，包括炉体(9)，其特征在于：所述炉体(9)内部一侧顶端固定有步进电机(1)，所述步进电机(1)底端与丝杆(2)进行传动连接，所述丝杆(2)上安装有滑块(3)；所述炉体(9)内部另一侧固定有加热炉(4)，所述加热炉(4)中间贯穿设置有炉管(5)，所述炉管(5)与滑块(3)相互固定连接，所述炉管(5)顶端连接有法兰(6)，所述炉管(5)底端连接有真空计(7)；所述炉体(9)内部底端还固定有变压器(8)。
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