[发明专利]一种转动PECVD系统

摘要

本发明公开了一种转动PECVD系统，包括安装台，安装台上安装有管式炉，管式炉中间安装有石英管，石英管中间设有螺旋送料器，石英管进料端依次设有供气系统和进料料斗，进料料斗与管式炉之间设有与石英管固定连接的转动齿轮，转动齿轮与直流电机进行传动连接，石英管出料端依次固定有出料料斗和真空机组。本发明使质量和热量的传递更加有利，改善了包覆均匀性，通过回转炉体的不断旋转，颗粒不断改变位置和翻动，实现于与反应气体的良好接触；回转炉的转速可调,从而可以改变炉内粒子运动状态，调节气固接触状况；最终实现可控、高效且均匀的涂层包覆；通过在回转炉的两侧安装进出料的密封料斗实现连续化作业。

主权项

1.一种转动PECVD系统，包括安装台(1)，其特征在于：所述安装台(1)上安装有管式炉(2)，所述管式炉(2)中间安装有石英管(9)，所述石英管(9)中间设有螺旋送料器(8)，所述石英管(9)进料端依次设有供气系统(5)和进料料斗(4)，所述进料料斗(4)与管式炉(2)之间设有与石英管(9)固定连接的转动齿轮(6)，所述转动齿轮(6)与直流电机(3)进行传动连接，所述石英管(9)出料端依次固定有出料料斗(10)和真空机组(11)；所述石英管(9)与管式炉(2)内壁之间设有保温层(7)；所述管式炉(2)表面设有触摸控制屏幕(12)；所述真空机组(11)内安装有粉尘过滤器；所述石英管(9)为两端细中间粗；所述安装台(1)内安装有系统所需的射频电源、控制系统；所述安装台(1)底部分布有福马轮(13)；所述管式炉(2)与安装台(1)之间通过液压伸缩杆(14)相互连接，且管式炉(2)与安装台(1)之间的最大倾斜角度为15度。