[发明专利]晶圆清洗机的防喷溅装置

摘要

一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，该防喷溅装置包含一屏蔽单元及一驱动机构。屏蔽单元包括一顶端，屏蔽单元可相对于晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换。在收合状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一第一距离，在展开状态时，屏蔽单元的顶端与承载吸盘顶面相间隔一第二距离，第二距离大于第一距离。驱动机构与屏蔽单元相连接用以驱动屏蔽单元在收合状态及展开状态之间变换。借此，可将清洗液喷溅的范围限制在屏蔽单元内，以防止清洗液喷溅至其它物件。

主权项

一种晶圆清洗机的防喷溅装置，该晶圆清洗机包含一晶圆承载装置及一围绕设置于该晶圆承载装置的周壁，该晶圆承载装置包括一承载吸盘，该防喷溅装置罩设于该晶圆承载装置外周围，其特征在于，该防喷溅装置包含：一屏蔽单元，呈圆筒状并罩设于该晶圆承载装置外周围，该屏蔽单元包括一顶端，该屏蔽单元可相对于该晶圆承载装置在一收合状态及一展开状态之间变换，在该收合状态时，该屏蔽单元的该顶端与该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面相间隔一第一距离，在该展开状态时，该屏蔽单元的该顶端与该晶圆承载装置的该承载吸盘顶面相间隔一第二距离，该第二距离大于该第一距离；及一驱动机构，与该屏蔽单元相连接用以驱动该屏蔽单元在该收合状态及该展开状态之间变换。