[发明专利]一种防边缘漏电的太阳电池刻边方法有效
申请号: | 201610892599.3 | 申请日: | 2016-10-13 |
公开(公告)号: | CN106384758B | 公开(公告)日: | 2017-07-28 |
发明(设计)人: | 徐冠群 | 申请(专利权)人: | 常州天合光能有限公司;天合光能(常州)科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/306 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所33233 | 代理人: | 郭小丽 |
地址: | 213031 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种防边缘漏电的太阳电池刻边方法,包括如下步骤S1用刻蚀浆料均匀涂到扩散后硅片的四周边缘,并在空气中静置5‑10min,刻蚀浆料和与之接触到地方的PSG/BSG反应,并把这个地方的PSG/BSG刻蚀掉;S2用去离子水洗掉涂在硅片四周边缘的刻蚀浆料;S3将洗掉刻蚀浆料的硅片放进温度范围为60‑80℃浓度为30%‑50%的KOH抛光液中反应2‑5min,之后用去离子水清洗最后烘干。本发明通过采用只会和PSG/BSG反应的刻蚀浆料,实现了在保证电池两面扩散层完整的前提下,很好地刻蚀掉硅片边缘的扩散层,从而有效地防止电池边缘漏电现象的发生。采用本方法刻边,太阳电池Rsh提升到3000Ω以上,IRev1降至0.2以下,FF提升了0.3%以上,Eta提升了0.1%以上。 | ||
搜索关键词: | 一种 边缘 漏电 太阳电池 方法 | ||
【主权项】:
一种防边缘漏电的太阳电池刻边方法,包括如下步骤:S1:用刻蚀浆料均匀涂到扩散后硅片的四周边缘,并在空气中静置5‑10min,刻蚀浆料和与之接触到地方的PSG/BSG反应,并把这个地方的PSG/BSG刻蚀掉;S2:用去离子水洗掉涂在硅片四周边缘的刻蚀浆料;S3:将洗掉刻蚀浆料的硅片放进温度范围为60‑80℃,浓度为30%‑50%的KOH抛光液中反应2‑5min,之后用去离子水清洗最后烘干。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的