[发明专利]用于水平梯度冷凝单晶生长的籽晶的缩颈装置及缩颈方法

摘要

本发明公开了一种用于水平梯度冷凝单晶生长的籽晶的缩颈装置及缩颈方法。缩颈装置包括同轴圆环支撑构件、曲型加热构件和温度监控构件，同轴圆环支撑构件为耐高温陶瓷圆环，其上设置四个支撑孔和六个圆形通孔；曲形加热构件是用高温电阻丝在圆形通孔中来回穿插绕制而成；温度监控构件包括四个热电偶，利用支撑孔固定在同轴圆环支撑构件上。通过温度监控构件的监控，曲型加热构件在籽晶上方局部的升温与降温，同时配合水平梯度冷凝炉的摇摆进行籽晶缩颈。本发明能在籽晶熔接时产生缩颈，消除了籽晶在机械加工中表面产生的缺陷及籽晶本身的遗传性位错缺陷，提高了单晶生长的成晶率，同时生长出的单晶具有更高的高品质。

主权项

1.一种用于水平梯度冷凝单晶生长的籽晶的缩颈装置，其特征在于它包括同轴圆环支撑构件、曲形加热构件和温度监控构件；所述同轴圆环支撑构件为一耐高温陶瓷圆环(1)，在装入水平梯度冷凝生长炉的炉膛中时与水平梯度冷凝生长炉内的生长料管(9)同轴安装，并环绕在水平梯度冷凝生长炉内的籽晶袋外围，所述同轴圆环支撑构件上设置四个温度监控构件支撑孔(3)，这四个温度监控构件支撑孔平均分成两组，在同轴圆环支撑构件的内侧呈上下对称分布，所述同轴圆环支撑构件的1/4环上开有六个大小相同、间隔相同的圆形通孔(2)，这六个圆形通孔分布在上部的两个温度监控构件支撑孔的正上方；所述曲形加热构件是用高温电阻丝(4)在上述六个圆形通孔中来回穿插绕制而成；所述温度监控构件包括四个热电偶(5、6、7、8)，所述四个热电偶包括第一热电偶(5)、第二热电偶(6)、第三热电偶(7)和第四热电偶(8)，第一热电偶和第二热电偶分别插入同轴圆环支撑构件内侧上部的两个温度监控构件支撑孔中，第三热电偶和第四热电偶分别插入同轴圆环支撑构件内侧下部的两个温度监控构件支撑孔中，四个热电偶的末端均能够伸出水平梯度冷凝生长炉外与温度监控仪的热偶补偿线相连。