[发明专利]迭片多层厚膜电路的联接工艺有效

专利信息
申请号: 201610893340.0 申请日: 2016-10-13
公开(公告)号: CN106252272B 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 郑锦清;任春祥 申请(专利权)人: 珠海市华晶微电子有限公司
主分类号: H01L21/70 分类号: H01L21/70;H01L21/60;H01L21/56
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 赵蕊红
地址: 519015 广东省珠海市南山*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种迭片多层厚膜电路的联接工艺及其制备方法,联接过程是:将待联接的厚膜电路膜片的表面印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片的共对应点上各印刷多个E料块联接;最后将厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣钵模,于480—520℃烧结20—30分钟。或者联接过程是:在需要电联接的厚膜电路膜片上印刷低温银浆F;再对厚膜电路膜片的表面印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片的共对应点上各印刷多个E料块联接,最后将厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣模,并于480—520℃烧结20—30分钟。本发明制备工艺简单、成品率高。
搜索关键词: 多层 电路 联接 工艺
【主权项】:
1.一种迭片多层厚膜电路的联接工艺,其特征在于,对已经完成多层布线、孔金属化,并完成厚膜元件制作和调整的厚膜电路膜片进行联接;具体联接过程是:在各个厚膜电路膜片的待联接的表面分别印刷S保护釉料;然后在厚膜电路膜片之间的共对应点上各印刷多个E料块联接;最后将各厚膜电路膜片的待联接面迭合在一起并置于匣钵模,于480—520℃烧结20—30分钟;按照重量份计,所述S保护釉料含有如下份数的原料:A:50‑85;B:10‑50;C:30‑50;S保护釉料的制备工艺,包括:按照组成称量组分,并分别置于搅拌式球磨罐中,按料:球=1:2的比例球磨20‑30分钟,取出盛装得到S保护釉料;其中,A为无铅易熔绿色环保玻璃,按照重量百分比计,含有如下份数的原料:SiO2:40‑60;TiO2:0‑20;ZnO:4‑10;KF:5‑30;脱水硼砂:8‑15;A的制备工艺包括如下步骤:(a1)将原料于110‑120℃下烘干40‑70分钟;(a2)将原材料置于搅拌罐内搅拌混合2‑3分钟,然后取出装入容置匣钵或者坩埚或者直接导入熔制炉膛;(a3)以320‑360℃/小时的升温速度升温至1020‑1120℃,保温35‑45分钟,使玻璃处于低粘度充分混合熔融状态,再取出或开阀使玻璃液冷却或注入水中淬火呈玻璃颗粒;(a4)把冷却的玻璃块或玻璃颗粒置于破碎机粉碎制成粒度不大于3微米的玻璃粉A;其中,按照重量份计,B含有如下份数的原料:ZnO:25‑35;Cr2O3:0‑3;CuO:0‑4;MnO2:0‑3;NiO:0‑3;Co2O3:0‑3;BaCO3:4‑6;Al2O3:0‑10;脱水硼砂:35‑40;B的制备工艺包括如下步骤:将原料置于搅拌式球磨机罐中,按料:锆球:水=1:2:1.2的比例搅拌球磨2.5‑3.5小时至粒度不大于3微米,取出烘干过筛得到B组份;其中,按照重量份计,C含有如下份数的原料:甲基纤维素:6‑10;丙三醇:2‑2.5;水:90‑100;C的制备工艺是:按照配比将原料放于容器中,经100℃水浴,并在玻璃棒搅拌下制成胶水;按照重量份计,E含有如下份数的原料:D:60‑100;C:35‑45;其中,按照重量份计,D含有如下份数的原料:A:65‑85;ZnO:2‑4;KF:0‑8;BaO:0‑3;脱水硼砂:3‑6;D的制备工艺是:按照配比将原料放于球磨罐中,按料:锆球:水=1:2:1.2的比例搅拌球磨3.5‑4.5小时至粒度不大于3微米,取出烘干过筛得到D组份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海市华晶微电子有限公司,未经珠海市华晶微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610893340.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top