[发明专利]一种双通道谱域光学相干层析成像方法及装置有效
申请号: | 201610893809.0 | 申请日: | 2016-10-13 |
公开(公告)号: | CN106645027B | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 董博;刘嘉健;周延周;何昭水;谢胜利 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510062 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种双通道谱域光学相干层析成像方法,包括:相干光束通过第一光路入射至待测样品,经过待测样品内部同一截面反射产生第一反射光束以及第二反射光束;第一反射光束通过第一成像通道至第一分光镜的输入端,第二反射光束通过第二成像通道至第二分光镜的第一输入端,并经过第二分光镜的第一输出端输出至第一分光镜的输入端;从第一分光镜的输出端输出的第一反射光以及第二反射光均入射至第二光路;采集干涉光谱;当待测样品发生形变时,根据干涉光谱分别计算待测样品内部的面内位移和离面位移。经过待测样品内部同一截面同时层析成像,实现同时测量离面位移和面内位移。本申请公开了双通道谱域光学相干层析成像系统,具有上述效果。 | ||
搜索关键词: | 待测样品 分光镜 反射光束 输入端 双通道 谱域 光学相干层析成像 成像通道 干涉光谱 离面位移 同一截面 反射光 输出端 光路 入射 光学相干层析成像系统 输出 层析成像 相干光束 形变 反射 申请 和面 测量 采集 | ||
【主权项】:
1.一种双通道谱域光学相干层析成像方法,其特征在于,包括:相干光束通过第一光路入射至待测样品,经过所述待测样品内部同一截面反射产生第一反射光束以及第二反射光束;所述第一反射光束通过第一成像通道至第一分光镜的输入端,所述第二反射光束通过第二成像通道至第二分光镜的第一输入端,并经过所述第二分光镜的第一输出端输出至所述第一分光镜的输入端;从所述第一分光镜的输出端输出的所述第一反射光以及所述第二反射光均入射至第二光路;经过第三光路输出至所述第二分光镜的第二输入端的参考光束,所述参考光束经过所述第二分光镜入射至所述第一分光镜的输入端,经过所述第一分光镜入射至所述第二光路;采集经过所述第二光路的所述第一反射光束以及所述第二反射光束形成的干涉光谱;当所述待测样品发生形变时,根据所述干涉光谱分别计算所述待测样品内部的面内位移和离面位移。
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