[发明专利]一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片有效
| 申请号： | 201610893828.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN106324737B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 罗海瀚;刘定权;蔡清元;孔园园 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片，该滤光片使用了硅、一氧化硅和二氧化硅为不同折射率的膜层材料，在基底的两个表面分别沉积多层光学薄膜。一氧化硅作为间隔层膜层材料，降低了硅薄膜在带通区域存在吸收的影响。该滤光片元件可以使得在1.36～1.39微米(μm)区间具有良好的透光效果，平均透过率＞90％；在0.80～1.34μm和1.41～1.80μm区间截止，透过率小于1％。短波红外具有高灵敏度、高分辨率、昼夜成像等优点，广泛应用于遥感、测量等领域。该带通滤光片在短波红外具有很好的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 基底 短波 外带 滤光 | ||
【主权项】：
1.一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片，其结构为：在基底的一面沉积正面带通膜系(1)，在基底的另一面沉积反面截止膜系(3)，其特征在于：a、所述的正面带通膜系(1)的膜系结构为：基底/H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L H L H 2M H L H L/空气，其中，H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层，M表示一个λ0/4光学厚度的SiO膜层，λ0为中心波长，M前的数字为膜层的厚度比例系数；b、所述的反面截止膜系(3)的膜系结构为：基底/0.69H0.76L 1.01H(1L 1H)4.99L 0.68H 2.38L/空气，其中，H表示一个λ0/4光学厚度的Si膜层，L表示一个λ0/4光学厚度的SiO2膜层，λ0为中心波长，H与L前的数字为膜层的厚度比例系数。
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