[发明专利]主动式触觉传感器

摘要

本发明提供了一种主动式触觉传感器。该主动式触觉传感器包括：绝缘基底；以及设置于绝缘基底上的若干个传感单元。其中，每一传感单元包括：设置于绝缘基底的正面的接触分离式的摩擦纳米发电机；以及设置于绝缘基底的背面，与摩擦纳米发电机相对设置的薄膜晶体管。其中，摩擦纳米发电机通过填充于绝缘基底上过孔内的导电材料与薄膜晶体管的栅极电性连接，该传感单元的传感信号由薄膜晶体管的源极和漏极之间流过的电流实现。本发明制备工艺简单，选材广泛，成本低廉，能够满足大规模商业化的需求，具有较强的推广应用价值。

主权项

1.一种主动式触觉传感器，其特征在于，包括：绝缘基底；以及设置于所述绝缘基底上的若干个传感单元，其中，每一传感单元包括：设置于所述绝缘基底的正面的接触分离式的摩擦纳米发电机，该摩擦纳米发电机包括：设置于所述绝缘基底正面的静摩擦部；以及可在外力作用下与所述静摩擦部接触或分离的动摩擦部，所述静摩擦部和动摩擦部由位于摩擦电极序不同位置的材料制作；以及设置于所述绝缘基底的背面，与所述摩擦纳米发电机相对设置的薄膜晶体管；其中，所述摩擦纳米发电机中，所述静摩擦部通过填充于所述绝缘基底上过孔内的导电材料与薄膜晶体管的栅极电性连接，该传感单元的传感信号由薄膜晶体管的源极和漏极之间流过的电流实现；其中，所述若干个传感单元的静摩擦部在所述绝缘基底上呈阵列排布，形成静摩擦部阵列；所述若干个传感单元的动摩擦部连成一体，形成一动摩擦面；静摩擦部阵列中的一静摩擦部与动摩擦面上相应部分构成所述摩擦纳米发电机。