[发明专利]一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置在审
| 申请号： | 201610896201.3 | 申请日： | 2016-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN106455281A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;王涛;杨斌;陈翔;杨春生 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司31236 | 代理人： | 徐红银;郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置，包括：底套、掩膜版、套筒、高压电极、功率电源，掩膜版放置在底套内，并通过底套内的三个定位凸台实现紧固与定位；底套与套筒通过螺纹连接；高压电极通过电极插入孔插入套筒内，并连接功率电源高压端；底套连接功率电源低压端；工作气体通过套筒上的进气孔进入套筒内，功率电源通电，工作气体被电离后经掩膜版、底套射出，产生稳定的、与掩膜版上图形相同的图形化等离子体射流。本发明装置和使用方法简单，无需复杂的光刻工艺，可直接产生所需图形的等离子体射流实现对材料的快速加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 掩膜板 大气压 等离子体 射流 装置 | ||
【主权项】：
一种集成掩膜板的大气压等离子体射流装置，其特征在于，包括：底套、掩膜版、套筒、高压电极、功率电源，其中：所述掩膜版固定于所述底套的底部；所述底套的上端与所述套筒的一端连接；所述高压电极从所述套筒的另一端插入并伸入到所述套筒内；所述套筒的侧壁上开有进气孔，工作气体从所述进气孔进入到所述套筒的内部；所述功率电源的高压端连接所述高压电极，所述功率电源的低压端连接所述底套；工作气体通过所述套筒侧壁上的所述进气孔进入所述套筒内，所述功率电源通电，工作气体被电离后经所述掩膜版、所述底套射出，产生稳定的并与所述掩膜版上图形相同的图形化等离子体射流。
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