[发明专利]一种多晶硅尾气中硅烷含量的测定方法及装置有效
| 申请号： | 201610896577.4 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN106568854B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 刘淑萍;李辉;宗凤云;赫兰英;曹忠;丁培云;陈杰;王小顺;孙利杰 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司;上海空间电源研究所 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅尾气中硅烷含量的测定方法及装置，其方法包括如下步骤：(1)取样；(2)标准曲线的建立；(3)样品测定；所述硅烷尾气取样装置包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)；所述硅烷尾气中硅烷含量的测定装置包括样品钢瓶排气阀(5)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶(8)、碱液吸收桶(9)、氢气钢瓶(10)、硅烷标准气体钢瓶(11)等；本发明的优点：分离效果好；测定方法精密度高，相对标准偏差小于3％，方法检出限可以达到100μg/L。 | ||
| 搜索关键词： | 样品钢瓶 硅烷 硅烷尾气 多晶硅尾气 碱液吸收 氢气管道 进气阀 排气阀 针型阀 相对标准偏差 出口针型阀 标准气体 标准曲线 测定装置 分离效果 氢气钢瓶 取样管道 取样装置 样品测定 检出限 钢瓶 旁路 取样 尾气 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅尾气中硅烷含量的测定方法，其特征在于，其包括如下步骤：(1)取样：通过硅烷尾气取样装置取样；(2)标准曲线的建立：用硅烷尾气中硅烷含量的测定装置分别测量不同含量的硅烷标准气体，以测得的峰面积或峰高为纵坐标，硅烷含量为横坐标，用外标法建立标准曲线；(3)样品测定：用硅烷尾气中硅烷含量的测定装置测量步骤(1)取得的待测样品，直至峰面积或峰高稳定后，用外标法求得待测样品中硅烷的含量；所述硅烷尾气取样装置包括尾气取样管道(1)、硅烷尾气出口针型阀(2)、氢气管道针型阀(3)、样品钢瓶进气阀(4)、样品钢瓶排气阀(5)、旁路针型阀(6)、氢气管道(7)、样品钢瓶(8)和碱液吸收桶(9)；尾气取样管道(1)的出口与硅烷尾气出口针型阀(2)的进口连接，硅烷尾气出口针型阀(2)的出口分别与氢气管道针型阀(3)的出口、样品钢瓶进气阀(4)的进口和旁路针型阀(6)的进口通过管道连接，氢气管道针型阀(3)的进口与氢气管道(7)的出口通过管道连接，样品钢瓶进气阀(4)的出口与样品钢瓶(8)的进口通过管道连接，样品钢瓶(8)的出口与样品钢瓶排气阀(5)的进口连接，样品钢瓶排气阀(5)的出口与碱液吸收桶(9)的进口通过管道连接，旁路针型阀(6)的出口与样品钢瓶排气阀(5)的出口通过管道连接。
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