[发明专利]一种芯片原位翻转机构

摘要

本发明公开了一种芯片原位翻转机构，由中间连接座、设置在中间连接座上的用于对芯片进行翻转的翻转执行机构及用于驱动中间连接座接近或离开待翻转芯片的直线驱动机构构成；翻转执行机构包括真空吸头、摆杆及伸缩缸，所述真空吸头与负压装置连接；伸缩缸的缸体通过第一转动结构与中间连接座连接，该伸缩缸的伸缩杆通过第二转动结构与摆杆的一端连接，摆杆的另一端与真空吸头连接，摆杆的中部通过第三转动结构与中间连接座连接；所述第三转动结构的转动中心轴线与真空吸头的吸取面的几何中心相重合。本发明的翻转机构能够实现对芯片的原位翻转，使得翻转后的芯片不但能够确保水平度，而且还能够确保与芯片槽准确对准，便于后续的封装加工。

主权项

一种芯片原位翻转机构，其特征在于，由中间连接座、设置在中间连接座上的用于对芯片进行翻转的翻转执行机构以及用于驱动中间连接座接近或离开待翻转芯片的直线驱动机构构成；其中：所述翻转执行机构包括真空吸头、摆杆以及伸缩缸，其中，所述真空吸头与负压装置连接；所述伸缩缸的缸体通过第一转动结构与中间连接座连接，该伸缩缸的伸缩杆通过第二转动结构与摆杆的一端连接，摆杆的另一端与真空吸头连接，该摆杆的中部通过第三转动结构与中间连接座连接；所述第三转动结构的转动中心轴线与真空吸头的吸取面的几何中心相重合。