[发明专利]粒子浓度分布均匀的试样制作装置和纳米粒子膜成膜装置

摘要

在能够使流经内部的试样气体形成层流的平行的流路的入口侧配置有带电器，带电器包含放电电极，使试样气体中的微粒带电。在该流路的相对的一对面中的一个面上，在带电器的下游，将1个或多个吸引侧电极沿着流路方向配置于离流路入口不同距离的位置上。在该流路的相对的一对面中的另一面上配置有分级电极。分级电极与吸引侧电极相对配置，在分级电极与吸引侧电极之间，发生将流经流路的试样气体中的带电微粒吸附于吸引侧电极一侧的电场。

主权项

一种试样制作装置，其特征在于，具备：能够使流经内部的试样气体形成层流的平行的流路，所述流路在入口和出口具有开口，在流动方向和流路宽度方向的剖面都为长方形；从所述流路的入口吸入试样气体，并且以吸入的试样气体在所述流路内形成层流流动的条件被驱动的送风机构；包含配置于所述流路的入口侧的放电电极，使试样气体中的微粒带电的带电器；吸引侧电极，其在所述流路的相对的一对面的一个面上，在所述带电器的下游沿着流路方向配置，所述吸引侧电极的表面构成取样用的捕集基板的载置面；以及分级电极，其在所述一对面的另一个面上，与所述吸引侧电极相对配置，在所述分级电极与所述吸引侧电极之间发生将流经所述流路的试样气体中的带电粒子吸附于所述吸引侧电极一侧、并捕集于所述取样用的捕集基板的电场。