[发明专利]一种柔性不锈钢衬底太阳能电池组件的全激光刻划方法在审
申请号: | 201610900989.0 | 申请日: | 2016-10-17 |
公开(公告)号: | CN106571410A | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 张宁;余新平;戴万雷;刘沅东;张伟;孙哲 | 申请(专利权)人: | 北京四方创能光电科技有限公司;北京四方继保自动化股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B23K26/36;B23K26/40 |
代理公司: | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙)11224 | 代理人: | 吴鸿维 |
地址: | 100085 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种柔性不锈钢衬底太阳能电池组件的全激光刻划方法,在柔性不锈钢衬底上依次制备绝缘层和钼层;使用激光器一对已经制备的绝缘层和钼层进行刻划,形成第一道刻线(P1);在完成P1刻划的钼层上依次进行以下膜层制备铜铟镓硒层、硫化镉层、本征氧化锌层,完成上述膜层制备后,使用激光器二进行刻划,形成第二道刻线(P2),P2刻线与P1刻线平行;在完成P2刻划的本征氧化锌层上制备掺铝氧化锌层,使用激光器三进行刻划,形成第三道刻划线(P3),P3刻线与P1刻线平行。本发明可以避免丝网印刷造成的死区面积大、丝网印刷浆料昂贵以及丝网印刷网版经常更换等弊端,从而提高组件效率和设备稳定性,达到降低成本、提高生产效率的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 柔性 不锈钢 衬底 太阳能电池 组件 激光 刻划 方法 | ||
【主权项】:
一种柔性不锈钢衬底太阳能电池组件的全激光刻划方法,其特征在于:在不锈钢衬底上制备绝缘层,在绝缘层上制备钼薄膜即钼层,使用激光器对在不锈钢衬底上制备的绝缘薄膜和钼薄膜进行刻划,形成第一道刻线(P1);在完成第一道刻线(P1)刻划的钼层上依次进行以下膜层制备:铜铟镓硒层、硫化镉层、本征氧化锌层,完成上述膜层制备后,使用激光器进行刻划,形成第二道刻线(P2);在完成第二道刻线(P2)刻划后的本征氧化锌层上制备掺铝氧化锌层,使用激光器再次进行刻划,形成第三道刻线(P3)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
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