[发明专利]水平度测试装置和方法在审
| 申请号： | 201610902367.1 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106556377A | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | 丁卫涛 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C9/00 | 分类号： | G01C9/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水平度测试装置和方法。该水平度测试装置包括样品台面，所述样品台面用于盛放待测部件，所述待测部件包括第一部件和第二部件；反射镜，所述反射镜贴附在所述待测部件的表面；发光组件，所述发光组件包括发光器，所述发光器向所述反射镜照射检测光束，所述检测光束经过所述反射镜后反射，所述检测光束与所述反射镜呈预定角度。检测组件，所述检测组件包括靶面，所述靶面与贴附在所述第一部件上的反射镜的表面平行，所述靶面接收经过所述反射镜发射的检测光束，所述检测光束照射在所述靶面上形成光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 水平 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种水平度测试装置,其特征在于，包括：样品台面(1)，所述样品台面(1)用于盛放待测部件，所述待测部件包括第一部件和第二部件；反射镜(2)，所述反射镜(2)贴附在所述待测部件的表面；发光组件，所述发光组件包括发光器(31)，所述发光器(31)向所述反射镜(2)照射检测光束，所述检测光束经过所述反射镜(2)后反射，所述检测光束与所述反射镜(2)呈预定角度。检测组件，所述检测组件包括靶面(41)，所述靶面(41)与贴附在所述第一部件上的反射镜(2)的表面平行，所述靶面(41)接收经过所述反射镜(2)发射的检测光束，所述检测光束照射在所述靶面(41)上形成光斑。
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