[发明专利]量子点光掺杂石墨烯/氮化硼/氮化镓紫外探测器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种量子点光掺杂石墨烯/氮化硼/氮化镓紫外光电探测器，是在蓝宝石衬底上自下而上依次有N型掺杂氮化镓层、绝缘层、氮化硼层、石墨烯层、量子点层，并设有第一电极以及边电极。其制备方法是：先在N型掺杂的蓝宝石衬底氮化镓片上制作边电极及绝缘层，在绝缘层上留有窗口；将石墨烯转移到氮化硼上，再将氮化硼转移至绝缘层上，使得窗口内氮化硼与氮化镓接触形成异质结；再在石墨烯上制作第一电极，并用量子点对石墨烯进行光掺杂，得到量子点光掺杂石墨烯/氮化硼/氮化镓光电探测器。本发明的紫外光电探测器通过量子点对石墨烯进行光掺杂进一步优化了其器件性能，暗态电流低，且对紫外波段具有极高的响应度与探测度，器件工艺简单。

主权项

1.量子点光掺杂石墨烯/氮化硼/氮化镓紫外光电探测器，其特征在于，在蓝宝石衬底上自下而上依次有N型掺杂的氮化镓层(1)、绝缘层(2)、氮化硼层(3)、石墨烯层(4)和量子点层(5)，所述的绝缘层(2)上开有窗口，使得窗口内氮化镓层(1)与氮化硼层(3)直接接触形成异质结，所述探测器还包括第一电极(6)和边电极(7)，第一电极(6)设置于石墨烯层(4)上，边电极(7)设置于氮化镓层(1)上，所述的绝缘层(2)面积大于氮化镓层(1)面积的10％，边电极(7)面积占氮化镓层(1)面积的1‑10％，第一电极(6)面积小于石墨烯层(4)，石墨烯层面积小于氮化硼层(3)且大于绝缘层(2)中窗口的面积，所述的量子点层(5)为ZnO，量子点的直径不超过100nm，用于对石墨烯进行光掺杂。