[发明专利]太赫兹时域反射系统在审
| 申请号： | 201610903169.7 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106353634A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 李辰;丁庆 | 申请（专利权）人： | 深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/02 | 分类号： | G01R31/02;G01R27/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 518102 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种太赫兹时域反射系统。太赫兹时域反射系统用于对半导体集成电路故障进行检测，包括脉冲激光器、分束装置、光学延迟线装置以及电脉冲收发装置。超短脉冲激光激发电脉冲收发装置产生和接收高频电脉冲信号，高频电脉冲信号的频率皮秒量级，且该高频电脉冲信号为电流信号。产生的高频电脉冲信号被送入待测芯片进行故障检测。通过上述太赫兹时域反射系统，可以快速获得待测芯片在一定时间延迟内的太赫兹时域反射信号的变化，也即可以获得高频电脉冲信号在待测芯片中沿引线传播的距离的信息，可通过太赫兹时域反射信号的变化，对待测芯片中连通性故障进行定位和判定，也可以对待测芯片中引线的阻抗进行测量。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 时域 反射 系统 | ||
【主权项】：
一种太赫兹时域反射系统，用于对半导体集成电路故障进行检测，其特征在于，包括：脉冲激光器，用于发射脉冲激光；分束装置，用于将所述脉冲激光分束为泵浦光和激发光；光学延迟线装置，设置在所述激发光传播的方向上，用于调节所述泵浦光和所述激发光的时间延时；电脉冲收发装置，所述电脉冲收发装置与待测芯片连接，所述泵浦光和激发光均聚焦在所述电脉冲收发装置上，所述电脉冲收发装置用于产生高频电脉冲信号发送至所述待测芯片，并接收来自所述待测芯片反射的高频电脉冲信号形成太赫兹时域反射信号，并分析所述待测芯片的故障信息。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司，未经深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610903169.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
