[发明专利]用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练有效
| 申请号： | 201610903369.2 | 申请日： | 2012-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN107092958B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 金文;V·永;鲍君威;李列泉;L·波斯拉夫斯基 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06N3/04 | 分类号： | G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 路勇 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及用于基于库的临界尺寸CD计量的精确和快速的神经网络训练。描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的精确神经网络训练的方法。还描述了用于基于库的临界尺寸(CD)计量的快速神经网络训练的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 临界 尺寸 cd 计量 精确 快速 神经网络 训练 | ||
【主权项】：
一种用于光栅结构的基于库的临界尺寸计量的快速神经网络训练的方法，该方法包括：为第一神经网络提供训练目标；训练所述第一神经网络，该训练包括以第一数量的神经元开始并迭代增加神经元的数量，直至使用第二、更大数量的神经元达到所述训练目标，其中所述第一神经网络的所述训练包括当下列情况发生时停止用于所述第一神经网络的所述训练的迭代：用于所述第一神经网络的所述训练的计算代价函数的值小于预定的值，或所述计算代价函数的所述值没有由于特定数量的连续迭代而减少预定的百分比；基于所述训练和所述第二数量的神经元产生第二神经网络；基于所述第二神经网络提供光谱库，所述光谱库包括用于所述光栅结构的仿真频谱。
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