[发明专利]一种IC器件断层图像检测中的同步定位方法

摘要

一种IC器件断层图像检测中的同步定位方法，包括激光测距仪测量基板的高度，将高度偏差送平台升降组件，平台升降组件校正XY真空平移台及IC器件的高度；相机组件捕捉对位标志点的图像，计算出IC器件的实际位置，将位置偏差送XY真空平移台，XY真空平移台校正对位标志点的位置；激光测距仪测量对位标志点的高度，将高度偏差送相机升降组件，相机升降组件校正相机组件的工作距离，此时相机组件的高度即为基础高度；相机组件依次完成基础高度上图像的拍摄；相机组件完成基础高度上图像的拍摄后，升降到下一个断层高度，激光测距仪测定升降前后的高度变动值，确定相机组件升降到位情况并送给相机升降组件，实现相机组件升降的闭环控制。

主权项

一种IC器件断层图像检测中的同步定位方法，其特征是该发明包括：左激光测距仪和右激光测距仪测量IC器件基板的高度，将高度偏差平均值送平台升降组件，平台升降组件初步校正XY真空平移台及IC器件的高度；相机组件捕捉IC器件正面对位标志点的图像，计算出IC器件上各芯片和其它元件的实际位置，将位置偏差值送XY真空平移台，XY真空平移台校正IC器件正面对位标志点相对于相机组件的位置，保证拍摄的中心点符合图像拍摄的设定要求；左激光测距仪和右激光测距仪同步测量IC器件正面对位标志点的高度，将高度偏差平均值送相机升降组件，相机升降组件精确校正相机组件的工作距离，左激光测距仪和右激光测距仪与相机组件的位置相对固定，此时相机组件相对于IC器件正面对位标志点的高度即为基础高度；相机组件依次完成IC器件各分区基础高度上图像的拍摄，此过程中左激光测距仪和右激光测距仪测量IC器件各分区拍摄点的高度，将偏差平均值送相机升降组件，保证IC器件各分区拍摄点的高度与基础高度保持一致；相机组件完成IC器件各分区基础高度上图像的拍摄后，相机升降组件上升或下降到到下一个断层拍摄高度（如：H0~H6，见图二、图三），左激光测距仪和右激光测距仪与相机组件的位置相对固定，左激光测距仪和右激光测距仪同时测定IC器件上各自对应点上升、下降前后的高度变动值，确定相机组件上升或下降到位情况并送给相机升降组件，实现相机组件上升或下降过程的闭环控制；相机升降组件和平台升降组件作用的区别：相机升降组件行程较小、精度较高，用于相机组件及激光测距仪高度的精确调整；平台升降组件行程较大、精度稍差，用于XY真空平移台及IC器件高度的初步调整，还用于因IC器件变形较大，超出相机升降组件调整范围时的调整。