[发明专利]一种高硬度杀菌PVD膜的制备方法

摘要

本发明为一种高硬度防菌PVD膜的制备方法，使用W‑Ti合金靶材在工件上沉积第一层杀菌膜，W的硬度强，并且也有极强的杀菌能力，Ti和W的结合利于杀菌膜沉积时候的附着力，能够提高PVD膜的性能，在W‑Ti杀菌膜上沉积第二层杀菌膜为W‑Ti‑Ag，在第二层杀菌膜中加入纳米银，可以增强杀菌膜的杀菌效果，同时W的高硬度能够保护纳米银；因为W本身具有杀菌能力，因此只需在杀菌膜的最外层加入少许纳米银，而W的市场价格比纳米银便宜，因此以上技术方案中的杀菌膜可以降低杀菌膜生产成本。

主权项

1.一种高硬度PVD杀菌膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：1)工件预处理：将工件表面油污洗净并脱去工件表面氧化膜，随后将工件放入真空炉中；2)工件清洗：真空炉中抽真空，升温至120～150℃，充入Ar，启动Ti弧靶，对工件进行离子清洗；3)基础膜：关闭Ti弧靶，启动Ti溅射靶，继续充入Ar，加载‑70～‑90V偏压，在工件表面沉积钛膜基础膜；4)第一层杀菌膜：关闭Ti溅射靶，启动W‑Ti合金弧靶，充入Ar，加载‑70～‑90V偏压，钛膜上沉积第一层杀菌膜；5)第二层杀菌膜：持续启动W‑Ti合金弧靶，同时启动纳米银溅射靶，持续时间3～5分钟，沉积第二层杀菌膜。