[发明专利]一种薄膜晶体管及其制造方法、液晶面板有效
| 申请号： | 201610905532.9 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106571398B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周志超 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L21/336;H01L21/28 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜晶体管包括基板，所述基板上形成有缓冲层、栅极、扫描线、源极及信号线，扫描线、栅极设置在缓冲层上，所述栅极在基板上的投影形状为环形；在缓冲层上形成有栅极绝缘层以及漏极，所述栅极绝缘层上位于源极之上开有导通孔；在栅极绝缘层上形成像素电极以及在扫描线靠近信号线的两端形成有连接结构。本发明还提供了一种薄膜晶体管的制造方法，该方法包括三道光掩膜工艺以及还提供了一种液晶面板，包括所述的薄膜晶体管。与现有技术相比，在通过三道光掩膜工艺制备薄膜晶体管，并且对薄膜晶体管的结构进行优化，从而能够运用于量产，而且光掩膜工艺数的减少，有利于降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制造 方法 液晶面板 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)上形成有缓冲层(2)、栅极(6)、扫描线(5)、源极(4)及信号线(3)，所述信号线(3)与扫描线(5)交叉设置，所述信号线(3)和扫描线(5)交叉围绕形成像素显示区域，栅极(6)以及源极(4)位于像素显示区域内，扫描线(5)、栅极(6)设置在缓冲层(2)上，所述栅极(6)与扫描线(5)电连接，源极(4)与信号线(3)电连接，所述栅极(6)在基板上的投影形状为环形；在缓冲层(2)上形成有栅极绝缘层(7)以及漏极(8)，漏极(8)与信号线(3)电连接，所述栅极绝缘层(7)上位于源极(4)之上开有导通孔(9)，漏极(8)设于导通孔(9)内并且与源极(4)电连接；在栅极绝缘层(7)上形成像素电极(11)以及在扫描线(5)靠近信号线(3)的两端形成有连接结构(10)，实现扫描线(5)与扫描线(5)之间电连接，像素电极(11)的一端与漏极(8)电连接；所述像素电极(11)设置在位于漏极(8)之上，连接结构(10)覆盖在位于扫描线(5)的两端以及栅极绝缘层(7)上位于扫描线(5)之间的位置处；所述信号线(3)、源极(4)设置在缓冲层(2)中，并且与缓冲层(2)设置在同一层上，所述漏极(8)、栅极(6)、扫描线(5)与栅极绝缘层(7)设置在同一层上；所述信号线(3)、扫描线(5)、缓冲层(2)、源极(4)、栅极(6)通过第一道光掩模工艺形成，所述漏极(8)通过第二道光掩模工艺形成，所述像素电极(11)、连接结构(10)通过第三道光掩模工艺形成。/n
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