[发明专利]一种钛金属表面合成TiC‑DLC复合涂层制备方法在审
| 申请号： | 201610906713.3 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN106567076A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 梅青松;郭嘉琳;陈燕鸣 | 申请（专利权）人： | 扬州市普锐泰涂层科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 张宇 |
| 地址： | 225127 江苏省扬州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种钛金属表面合成TiC‑DLC复合涂层制备方法。该方法包括步骤一将未涂层基体固定在支架上，装入镀膜机中，打开烃类气流量阀，镀膜压力0.1～3.5Pa，温度300～500℃条件下，沉积0.2‑10微米厚的碳元素层20～30min；步骤二打开氩气流量阀，进行辉光溅射清洗10～20min；然后开启纯Ti靶，用带正电的氩气轰击靶材，轰击出的负电离子沉积于阳极，带正电的金属离子沉积于阴极碳元素层上，沉积10‑300纳米厚的钛镀层5～15min；步骤三打开加热器，升温至900～1200℃，使钛金属表面与碳元素层、碳元素层与钛镀层发生界面反应，生成稳定的TiC层。由于碳元素而言钛具有强的化学活性和扩散能力，钛镀层和碳发生界面反应，形成稳定的化学键合的TiC层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属表面 合成 tic dlc 复合 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钛金属表面合成TiC‑DLC复合涂层制备方法，其特征在于，包括步骤如下，步骤一：将经预处理后的未涂层基体均匀固定在支架上，间距大于等于10mm，装入镀膜机中，调节工件支架转速为5～10rpm，抽至本底真空2.5～3.0×10‑3Pa，同时打开加热器，升温至100～500℃；打开烃类气流量阀，镀膜压力0.1～3.5Pa，温度300～500℃条件下，沉积0.2‑10微米厚的碳元素层20～30min；步骤二：打开氩气流量阀，调节真空室为0.05～0.2Pa，基体加负偏电压600～1000V，进行辉光溅射清洗10～20min；然后降低基体负偏电压至60～200V，开启纯Ti靶，用带正电的氩气轰击靶材，轰击出的负电离子沉积于阳极，带正电的金属离子沉积于阴极碳元素层上，沉积10‑300纳米厚的钛镀层5～15min；步骤三：打开加热器，升温至900～1200℃，使钛金属表面与碳元素层、碳元素层与钛镀层发生界面反应用时20～40min，生成稳定的TiC层，制备结束后自然冷却，得到TiC‑DLC复合涂层。
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